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使用飛納電鏡實(shí)現(xiàn)掃描電鏡圖像自動(dòng)化分析

 發(fā)布時(shí)間:2018/10/10 點(diǎn)擊量:2595
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詳細(xì)介紹:

腳本是一種小型的自動(dòng)化軟件,它可以幫助掃描電鏡(SEM)操作者更地完成他們的工作。在之前的博客中,介紹了如何使用飛納臺(tái)式掃描電鏡編程接口(PPI)獲取掃描電鏡(SEM)圖像。在這篇博客中,將介紹如何從這些掃描電鏡(SEM)圖像中獲取樣品的物理屬性從而實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的分析。

 

掃描電鏡(SEM)自動(dòng)化工作流程

 

使用掃描電鏡獲取圖像通常包括如圖1所示的幾個(gè)步驟,其中,四個(gè)步驟可以使用PPI進(jìn)行自動(dòng)控制:

 

1.圖像采集

2.分析

3.評(píng)估

4.生成報(bào)告

 

在圖像采集(步驟1)中,圖像可以由PPI和飛納掃描電鏡自動(dòng)獲取。在分析(步驟2)時(shí),我們可以從圖像中獲取樣品的物理屬性,然后根據(jù)這些物理屬性對(duì)材料進(jìn)行評(píng)估(步驟3)。后,步驟(4)將自動(dòng)生成報(bào)告,并將結(jié)果報(bào)告呈現(xiàn)給用戶。

 

圖1:掃描電鏡工作流程(主要操作步驟)

傳真:

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