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飛納電鏡操作過程自動化:背散射電子和二次電子混合像

 發(fā)布時間:2018/9/26 點擊量:1871
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當(dāng)電子束與樣品相互作用時,會產(chǎn)生背散射電子(BSE)和二次電子(SE)。通過檢發(fā)射信號可獲得樣品表面的成分襯度像(背散射電子)和表面形態(tài)像(二次電子)。背散射電子和二次電子是如何形成的,為什么它們攜帶特定的樣品信息?此外,能否在一幅圖像中同時獲得成分和形態(tài)信息?

 

當(dāng)入射電子束擊中樣品表面時,會產(chǎn)生二次電子和背散射電子,檢測并收集這些信號從而形成圖像。二次電子是由樣品的核外電子的非彈性散射產(chǎn)生的,如圖1左圖所示。二次電子(SE)是低能量電子(通常小于50eV),容易被吸收。這就是為什么只有從極薄的樣品表面中產(chǎn)生的二次電子才能被探測器收集的原因。

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