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電磁透鏡和像差:哪些因素會(huì)影響掃描電鏡的分辨率?

 發(fā)布時(shí)間:2018/9/25 點(diǎn)擊量:2317
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詳細(xì)介紹:

分辨率是掃描電鏡(SEM)重要的參數(shù)之一。分辨率越好,可以看到的特征尺寸越小。分辨率的好壞往往取決于聚焦在樣品上的電子束斑的直徑(即束斑尺寸)。

 

在非理想電子光學(xué)系統(tǒng)中,束斑尺寸會(huì)因像差而變大。什么是電子光學(xué)系統(tǒng)中的像差?它們?nèi)绾斡绊懯叱叽??在這篇博客中,將回答這些問題并進(jìn)行深入的分析。

 

一個(gè)非常簡單的電子光學(xué)系統(tǒng)的例子

 

在之前的博客中,談到了鏡筒和透鏡組。通常,鏡筒由一組透鏡組成,這些透鏡具有約束電子束并將電子聚焦于樣品表面的功能。樣品上的束斑尺寸決定了電子顯微鏡的分辨率。但是,束斑尺寸是如何定義的呢?看看簡單的電子光學(xué)系統(tǒng),如圖 1 所示。

 

圖1:簡單的電子光學(xué)系統(tǒng)由一個(gè)位于頂部的電子光源及聚焦電子束到樣品表面的透鏡組成。

 

在這個(gè)系統(tǒng)中,我們知道電子源與透鏡之間的距離(物距)和透鏡與樣品之間的距離(像距)。像距通常也稱為工作距離,它隨樣品高度的變化而變化。像距與物距的比值給出了電子光學(xué)系統(tǒng)的放大倍數(shù)。

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