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全自動掃描電鏡為科研人員提供了一種非破壞性的分析手段

 更新時間:2024-08-20 點(diǎn)擊量:366
  全自動掃描電鏡是一種顯微分析設(shè)備,它通過電子束掃描樣品表面,產(chǎn)生高分辨率的圖像。這種設(shè)備廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、生物學(xué)、地質(zhì)學(xué)等領(lǐng)域,為科研人員提供了一種非破壞性的分析手段。
 
  1.工作原理:利用電子束在樣品表面進(jìn)行掃描,通過檢測二次電子和背散射電子的信號,生成高分辨率的圖像。電子束由電子槍產(chǎn)生,經(jīng)過電磁透鏡聚焦,然后在樣品表面進(jìn)行掃描。掃描過程中,電子與樣品相互作用,產(chǎn)生二次電子和背散射電子,這些信號被探測器接收并轉(zhuǎn)換成圖像。
 
  2.主要組成部分:全自動掃描電鏡主要由電子槍、電磁透鏡、掃描線圈、樣品室、探測器、信號處理系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)等部分組成。電子槍產(chǎn)生電子束,電磁透鏡對電子束進(jìn)行聚焦和偏轉(zhuǎn),掃描線圈控制電子束在樣品表面的掃描路徑,樣品室用于放置和調(diào)整樣品,探測器接收二次電子和背散射電子信號,信號處理系統(tǒng)將信號轉(zhuǎn)換成圖像,計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)設(shè)備的自動化操作。
 
  3.分辨率:分辨率是指能夠分辨出兩個相鄰點(diǎn)的距離。分辨率受到電子束直徑、探測器性能和樣品本身性質(zhì)等因素的影響。一般來說,分辨率可以達(dá)到納米級別,甚至更高。
 
  4.放大倍數(shù):全自動掃描電鏡的放大倍數(shù)是指圖像中樣品的實(shí)際尺寸與顯示器上顯示的尺寸之比。放大倍數(shù)可以通過調(diào)整電磁透鏡的聚焦電流來實(shí)現(xiàn)。放大倍數(shù)范圍很廣,從幾十倍到幾十萬倍不等,可以滿足不同尺度的分析需求。
 
  5.樣品制備:對樣品的要求較高,需要樣品具有良好的導(dǎo)電性和較高的穩(wěn)定性。對于非導(dǎo)電樣品,需要進(jìn)行噴金或碳膜鍍層處理,以提高其導(dǎo)電性。此外,樣品的尺寸和厚度也需要適中,以便于觀察和分析。
 
  6.應(yīng)用領(lǐng)域:全自動掃描電鏡廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、生物學(xué)、地質(zhì)學(xué)等領(lǐng)域。在材料科學(xué)領(lǐng)域,可以用于分析材料的微觀結(jié)構(gòu)、形貌和成分;在生物學(xué)領(lǐng)域,可以用于研究細(xì)胞和組織的形態(tài)和功能;在地質(zhì)學(xué)領(lǐng)域,可以用于分析礦物的成分和結(jié)構(gòu)。此外,還可以用于半導(dǎo)體、納米技術(shù)、環(huán)境科學(xué)等領(lǐng)域的研究。
全自動掃描電鏡

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