高分辨率臺式掃描電鏡是對樣品表面形態(tài)進(jìn)行測試的一種大型儀器，當(dāng)具有一定能量的入射電子束轟擊樣品表面時(shí)，電子與元素的原子核及外層電子發(fā)生單次或多次彈性與非彈性碰撞，一些電子被反射出樣品表面，而其余的電子則滲入樣品中，逐漸失去其動能，停止運(yùn)動，并被樣品吸收。
掃描電鏡視頻放大器放大的二次電子信號是一個交流信號，用這個交流信號調(diào)制顯像管柵極電，其結(jié)果在顯像管熒光屏上呈現(xiàn)的是一幅亮暗程度不同的，并反映樣品表面起伏程度(形貌)的二次電子像。
掃描方式分點(diǎn)掃描、線掃描、面掃描和Y調(diào)制掃描。掃描電鏡圖像的放大倍率是通過改變電子束偏轉(zhuǎn)角度來調(diào)節(jié)的，放大倍數(shù)等于CRT面積與電子束在樣品上掃描的面積之比，減小樣品上掃描的面積，就可增加放大倍率，電子束在樣品上掃描的面積，由掃描線圈產(chǎn)生的激勵磁場控制，可以連續(xù)調(diào)節(jié)，所以掃描電鏡的放大倍率是可以連續(xù)調(diào)節(jié)的。
為保證高分辨率臺式掃描電鏡電子光學(xué)系統(tǒng)的正常工作，掃描電鏡采用一個機(jī)械泵和一個油擴(kuò)散泵，真空系統(tǒng)的工作自動進(jìn)行并有保護(hù)電路。若達(dá)不到高真空，高壓指示燈將不亮，高壓加不上，擴(kuò)散泵冷卻水?dāng)嗦坊蛩畨翰蛔悖珯C(jī)電源自動切斷，擴(kuò)散泵溫度過高也自動斷電。電子槍燈絲更換有單獨(dú)的電子槍室與主機(jī)鏡筒隔離，更換燈絲后幾分鐘內(nèi)電子槍即可達(dá)到高真空。
